개략도

• 아크 방전시 생성되는 Macro particle 및 중성 입자를 필터 자기장을 이용하여 걸러주어 고순도 및 표면조도가 높은 박막을 형성
• 장점 : 저마찰 특성 / 우수한 표면조도 / 저온 공정 가능 / 응력제어 기술