LIS (Linear Ion Source) 설계 및 제작 : DLC 코팅

개략도

• 탄화 가스를 이온화 시켜 기판에 증착
• 방전 전압의 크기에 따라 기판에 가속되는 이온에너지가 달라짐
• 장점 : 높은 증착율 / 균일한 성막 재현성 / 우수한 밀착력

LIS 장치

플라즈마

적용분야

• 자동차 부품, 공구류, 사출 금형, 전자제품 외장품 etc.

LIS (Linear Ion Source) 설계 및 제작 : 표면 개질

개략도

• 가스가 전기장에 의해 이온화 및 플라즈마가 발생 되며 자기장에 의해 방전 안정성이 향상
• 장점 : 자기장 제어기술 / 높은 등방성 / 식각량 제어기술

표면 개질 (Linear Ion Source)

LIS 장치

플라즈마

적용분야

• 폴리머 및 금속 소재 표면처리, 다양한 공구류 DLC 코팅, 대전방지필름 형성, PE-CVD etc.