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- SPEC : FCVA - 2set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø600 * 높이 700mm
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- SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø500 * 높이 500mm
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- SPEC : LIS - 1set, UBM – 3set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø650 * 높이 400mm
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- SPEC : LIS - 2set, UBM - 1set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø700 * 높이 800mm
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- SPEC : FCVA - 4set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø800mm * 높이 1,000mm
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- SPEC : FCVA - 3set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø800mm * 높이 900mm
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- SPEC : FCVA - 2set, LIS - 1set, UBM - 3set (in-line type)
- Chamber size : 길이 6,000mm * 폭 470mm * 높이 750mm
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- SPEC : FCVA - 8set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø800mm * 높이 1,200mm
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- SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set, UBM - 1set (load-lock type)
- Chamber size : 길이 1,000mm * 폭 300mm * 높이 300mm
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- SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set, UBM - 1set (load-lock type)
- Chamber size : 길이 1,500mm * 폭 400mm * 높이 400mm
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- SPEC : FCVA - 6set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
- Chamber size : 직경 ø600mm * 높이 2,000mm
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- SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set, UBM - 1set (load-lock type)
- Chamber size : 길이 1,500mm * 폭 400mm * 높이 400mm
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- SPEC : LIS - 3set, UBM - 2set (batch type)
- Chamber size : 길이 1,200mm * 폭 1,200mm * 높이 860mm
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- SPEC : FCVA – 2set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
- Chamber size : 길이 900mm * 폭 600mm * 높이 750mm
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- SPEC : FCVA – 1set, LIS - 1set, UBM - 2set (batch type)
- Chamber size : 길이 ø500mm * 높이 450mm
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- SPEC : FCVA – 1set, LIS - 1set, UBM - 2set (batch type)
- Chamber size : 길이 ø700mm * 높이 500mm
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