설비납품 실적

설비납품 실적

  • SPEC : FCVA - 2set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø600 * 높이 700mm
  • SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø500 * 높이 500mm
  • SPEC : LIS - 1set, UBM – 3set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø650 * 높이 400mm
  • SPEC : LIS - 2set, UBM - 1set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø700 * 높이 800mm
  • SPEC : FCVA - 4set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø800mm * 높이 1,000mm
  • SPEC : FCVA - 3set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø800mm * 높이 900mm
  • SPEC : FCVA - 2set, LIS - 1set, UBM - 3set (in-line type)
  • Chamber size : 길이 6,000mm * 폭 470mm * 높이 750mm
  • SPEC : FCVA - 8set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø800mm * 높이 1,200mm
  • SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set, UBM - 1set (load-lock type)
  • Chamber size : 길이 1,000mm * 폭 300mm * 높이 300mm
  • SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set, UBM - 1set (load-lock type)
  • Chamber size : 길이 1,500mm * 폭 400mm * 높이 400mm
  • SPEC : FCVA - 6set, LIS - 1set, UBM - 1set (batch type)
  • Chamber size : 직경 ø600mm * 높이 2,000mm
  • SPEC : FCVA - 1set, LIS - 1set, UBM - 1set (load-lock type)
  • Chamber size : 길이 1,500mm * 폭 400mm * 높이 400mm

주요고객사

  • BoLim
  • 한국화학연구원
  • AG OPICS
  • 포항산업과학연구원
  • 성균관대학교
  • JESAGI HANKOOK LTD.